卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機構(gòu)，直線電機驅(qū)動的直線滑臺。具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-04-29

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類Product Categories

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卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列產(chǎn)品概述

說明：

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機構(gòu)，直線電機驅(qū)動的直線滑臺。該系列滑臺具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。直線電機作為驅(qū)動機構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實現(xiàn)亞微米級定位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。臺面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺連接，組成多維移動臺。

特點：

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運動無爬行，直線度好，負載可控制，穩(wěn)定性好；

· 采用直線電機，微步能力好，驅(qū)動力可控，速度穩(wěn)定；

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列命名規(guī)則：

QF 25-300 S-BNA

QF 系列代碼：

QF:單軸空氣軸承類滑臺 QFD:XY組合空氣軸承類滑臺

QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺

25 臺面寬度：

25:250mm 30:300mm

300 有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S 基座材質(zhì)：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B 分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N 電機類型：

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A 臺面材質(zhì)：

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請聯(lián)系銷售進行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺選項表

型號	QF25-100A-BNA	QF25-200A-BNA	QF25-300A-BNA	QF25-400A-BNA
臺面尺寸(mm)	245x200(運動方向)
厚度(mm)	120
移動量(mm)	100	200	300	400
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動方式	無鐵芯直線電機
導(dǎo)軌	一體式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(μm)	0.4
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	2.5	3	3
俯仰(arcsec)	4.5
偏擺(arcsec)	2.1
主體材料及表面處理	鋁合金，黑色硬質(zhì)陽極氧化處理
中心負載(Kg)	10/μm

型號	QF25-400S-BNA	QF25-500S-BNA	QF25-600S-BNA	QF25-800S-BNA
臺面尺寸(mm)	290x200(運動方向)
厚度(mm)	189
移動量(mm)	400	500	600	800
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動方式	無鐵芯直線電機
導(dǎo)軌	氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(um)	0.3
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	3	5	5
俯仰(arcsec)	2
偏擺(arcsec)	2
主體材料及表面處理	大理石，鋁合金
中心負載(Kg)	15/um

說明：

1.以上測試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測試；

2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；

3.測試環(huán)境介于萬級~十萬級潔凈空間內(nèi)；

4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點和選型指導(dǎo)

項目	xxxA	xxxS	xxxC
材質(zhì)	鋁合金	大理石	碳化硅陶瓷
導(dǎo)軌長度(mm)	200~800	400~3000	400~2000
外形尺寸(mm)	超小~中	中~超大	小、中、大
制作方式	機加工	磨削	燒制
重復(fù)精度(μm)	0.3	0.3	0.25
直線度(μm)	1~3	2~5	2~3
組合形式	X, XY(小)	X、XY、龍門	X、XY、龍門
造價(元)	1~10	5~100	50~1000