三維表面形貌測量儀這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

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更新時間：2024-05-20

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測試儀應(yīng)運(yùn)而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā)，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（利號：CN207556477U）。該項技術(shù)，具有以下優(yōu)點：

技術(shù)	線性共焦光譜技術(shù)	點測技術(shù)	激光掃描	3D相機(jī)
速度	1000 line/s	1000 point/s	1000 line/s	多角度拍照快
掃描寬度	6.5mm/20mm	點	可選	大
分辨率	1um	1um	30um	100um
界面層數(shù)	多層	多層	表面	表面
建模	否	否	否	是
數(shù)據(jù)量	大	大	少	少

三維表面形貌測量儀主要特點有：

1、非接觸性測量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級精度；

4、滿足透明面及高對比度表面測試；

5、支持二次開發(fā)；

三維表面形貌測量儀主要應(yīng)用

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；

3、3D玻璃缺陷檢測；

4、半導(dǎo)體表面缺陷測試；

5、多層薄膜厚度測試；

3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規(guī)格

	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光譜	共焦光譜
精度	1um	8um
重復(fù)性	±0.3um	±4um
線掃寬度	6.5mm	20mm
Z軸量程范圍	1.3mm	5mm
掃描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm